顧名思義,勻膠機是把膠均勻地涂在基片上的一種機器。方法很多,有滾涂,浸涂,噴涂,旋涂等,各有優(yōu)缺點。不同的應用采取不同的涂膠方法。其中旋涂用得蕞多,那是因為它能取得蕞高的均勻性,是半導體微電子領(lǐng)域里光刻工藝的通用的方法。
勻膠機主要關(guān)鍵元器件由美國進口,整機裝配在國內(nèi)安裝調(diào)試完成。該機2002年已通過CE認證,其抗干擾以及干擾性都較其他非CE產(chǎn)品要好。該性能的具體表現(xiàn)為:當該勻膠機在運轉(zhuǎn)時,它不影響同處一室的其他設備,以保證其他設備的正常使用(如指針不漂移等受干擾后有影響的反應);同時它本身也不會受到其他同處一室的設備運轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的磁場的干擾,從而保證實驗效果的穩(wěn)定性和可靠性。
工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)??梢栽O定多達20個程序段來存儲不同材料的制備過程,每個程序段都能設定51步速度改變,當前參數(shù)具斷電保護功能。
勻膠機屬下列狀況之一時,需要對抽氣室進行清潔:
1. 正常使用三個月的;
2. 膠被吸入抽氣室的;
3. 電機轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動的。
清潔的辦法是順次取下勻膠機片托,松開光電盤上的緊固頂絲,取下光電盤、上密封環(huán)、抽氣室、下密封環(huán)、彈簧,用脫脂棉蘸酒精或丙酮擦洗潔凈,再順次裝上彈簧、下密封環(huán)、抽氣室、上密封環(huán)、光電盤。旋緊緊固頂絲。